EtO ist als CMR-Stoff anerkannt; das heißt, es handelt sich um einen Stoff, der krebserzeugend (C), erbgutverändernd (M) oder reproduktionstoxisch (R) ist. Aufgrund der schwerwiegenden Auswirkungen auf die Gesundheit gibt es keinen sicheren Grenzwert für die Exposition.
In Deutschland legt die Technische Regel für Gefahrstoffe (TRGS) 900, die Grenzwerte für die Konzentration von Gefahrstoffen in der Luft am Arbeitsplatz festlegt, für Ethylenoxyd 1 ppm oder 1,8 mg/m³ fest. Der Arbeitsplatzgrenzwert (Schichtmittelwerte bei in der Regel täglich achtstündiger Exposition an 5 Tagen pro Woche während der Lebensarbeitszeit) von 1,8 mg/m³ ist ein verbindlicher EU-Grenzwert (2004/37/EG 2017/2398), der in der deutschen TRGS 900 übernommen wurde.
Arbeitgeber sind jedoch für eine sichere Arbeitsumgebung verantwortlich und verpflichtet, die Exposition gegenüber CMR-Stoffen wie EtO so weit wie möglich zu minimieren, auch wenn diese unter dem Grenzwert liegen.